多晶硅生产中需要什么样的废气治理设备

多晶硅生产中需要什么样的废气治理设备

 

在多晶硅生产中，会产生废气和残液。目前，我***的废气治理设备已较为先进，以往的处理技术已提高到更高的水平。

 

 

 

多晶硅是太阳能和微电子工业的关键原料。随着我***太阳能产业的***发展，对多晶硅的需求日益增加。目前，多晶硅技术十分活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子体法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯技术等。

 

西门子法通过气相沉积法制备柱状多晶硅。为提高原料利用率，采用闭环生产工艺。改进后的西门子工艺生产的多晶硅约占世界多晶硅产能的80%。

 

 

***内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。例如，张宇等人通过催化化学气相沉积法制备了多晶硅薄膜。

 

采用m. m. dahl等对流化床中多晶硅的微观结构和颗粒生长进行了研究。此外，多晶硅的生产工艺包括碳热还原法、区域熔融法等。碳热还原法是利用高纯碳还原硅生产多晶硅，区域熔融法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到太阳能级硅。

 

废气及残液处理

在多晶硅的制备过程中，产生了***量的废气和废液。***内***部分装置通常先用水水解，然后用氢氧化钠中和废气治理设备和残液处理。