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多晶硅生产中需要什么样的废气治理设备

  
多晶硅生产中需要什么样的废气治理设备
 
在多晶硅生产中,会产生废气和残液。目前,我国的废气治理设备已较为先进,以往的处理技术已提高到更高的水平。
 
 
 
多晶硅是太阳能和微电子工业的关键原料。随着我国太阳能产业的快速发展,对多晶硅的需求日益增加。目前,多晶硅技术十分活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子体法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯技术等。
 
西门子法通过气相沉积法制备柱状多晶硅。为提高原料利用率,采用闭环生产工艺。改进后的西门子工艺生产的多晶硅约占世界多晶硅产能的80%。
 
 
国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。例如,张宇等人通过催化化学气相沉积法制备了多晶硅薄膜。
 
采用m. m. dahl等对流化床中多晶硅的微观结构和颗粒生长进行了研究。此外,多晶硅的生产工艺包括碳热还原法、区域熔融法等。碳热还原法是利用高纯碳还原硅生产多晶硅,区域熔融法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到太阳能级硅。
 
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废气及残液处理
在多晶硅的制备过程中,产生了大量的废气和废液。国内大部分装置通常先用水水解,然后用氢氧化钠中和废气治理设备和残液处理。

有机工业废气治理设备主要用于废气净化治理等,主要产品:废气净化设备厂家
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